장치&제어 시스템

다중 분석 시스템을 통한 최적의 에칭 조건 구현

염화동 콘트롤 시스템 RGB 시리즈

염화동 콘트롤 시스템 RGB 시리즈란?

염화동 콘트롤 시스템은 다중 분석 시스템을 기반하여 최적의 에칭 조건을 구현합니다. EF시리즈와의 간 편한 호환 및 연동을 바탕으로 최적의 에칭 팩터 및 수율 향상에 기여합니다.

  • 최적의 에칭 조건 구현
    - RGB 컬러센서/ORP/염산/비중 측정 등 다중 분석 기반
  • EF시리즈와 호환/연동으로 에칭 팩터 및 수율 향상
  • 제어 정밀도 향상 및 고장 리스크 방지
    - 듀얼센서(RGB/ORP), Time On/Off 및 HBC 제어알고리즘 적용
  • 다중 실시간 트렌드 분석을 통한 각각의 센서값 관리
  • 사용자 편의성을 극대화한 직관적인 UI
  • 상/하한 경보시스템 및 센서 오동작 알람 기능

제품 안내 및 사양

항목 타입/모델
염화동 에칭용 RGB05 고염산 염화동 에칭용 RGB05 H
디스플레이
(고객 선택사양)		 12인치 LCD / 15인치 LCD,
해상도 1024 X 768
제어범위 HCL 0 ~ 1200 mV 0 ~ 1200 mV
NaClO3 0.1 ~ 2.5 mol/L 2.0 ~ 4.0 mol/L
S.G 0.800 ~ 2.000 0.800 ~ 2.000
Temp 0.0 ~ 100.0 °C 0.0 ~ 100.0 °C
측정 정밀도 제어범위 2.0% 이내 제어범위 2.0% 이내
제어약품 HCL, NaClO3/H2O2, H2O
제어출력 무전압 A 접점
전원 프리볼트 100~240V [50~60Hz]
순환펌프 모니터링 ○ ○
원격제어 ○ ○

제품 안내 및 사양