시스템 구성
개 요
다양한 에칭시스템, 약품 공급/분석 장치, 센서 등과 이를 통합관리 할 수 있는 통합관리 시스템으로 구성됩니다.
Graphic 기반의 에칭 공정 통합관리 기능을 제공합니다.
제조 공정의 다양한 운영정보를 DB로 관리하고, 고객사의 MES 등 전산 시스템에 인터페이스를 제공합니다.
최신 컨트롤 플랫폼(Software-defined device) 개념 도입으로 Hardware 신뢰성 향상, 운영 및 관리 방식을 표준화 하였습니다.
안정적인 공정관리로 공정 운영 효율을 향상시킵니다.
고객사별 설정된 약품 조성(농도)을 정밀하게 유지하여 에칭 품질 및 수율을 개선합니다.
적절한 약품의 조성 유지로 약품 소비량 절감이 가능합니다.
각 시스템 및 장치는 독립적, 통합 운영관리가 모두 가능합니다.
기대효과
| 전체 라인에 대한 실시간 통합관리가 가능하여, 항상 최적의 공정 관리 및 운영 효율을 개선합니다. |
| 모든 라인의 이상 상태 ,약품 조성 등 공정 준비 상태에 대하여 실시간 원격 관리로 에칭 품질 및 수율을 개선합니다. |
| 적절한 약품의 조성 유지로 약품 소비량 절감이 가능합니다. |
| 유지관리를 위한 인력 운영의 효율 향상이 가능합니다. |
| 고객사의 전산 시스템과 연계하여 공정에 대한 통합관리, AI 분석이 가능합니다. |
시스템 통합관리
SI, MES, ERP 통합
통신 및 DB 기반 I/F
통합 공정 관리
통합관리 소프트웨어
효율적인 운영관리
에칭공정 통합 운영/관리
Data 기반 분석 기능
약품 절감 및 수율 개선
범용 플랫품
신뢰성/고정밀 제어
신뢰성/고정밀 제어
운영관리 표준화
알고리즘 다운로드 가능
운영 관리 지원
원격 기술 지원
운영 상황에 대한 다양한 Event 생성 및 관리
링크 시스템 구성품
| 구성 | 설명 |
|---|---|
| 통합관리시스템 | 전체 시스템을 통합 관리하는 소프트웨어 |
| 에칭시스템 (염화동, 황산과수, 염화철 기타) |
고객사 운영조건에 따른 최적 제어 알고리즘 탑재 |
| 약품(첨가제) 공급장치 | 에칭 첨가제 등 약품 공급 및 농도 조절 |
| 분석장치 | 공급된 약품의 농도 분석 장치 |
| 각종 센서 및 트랜스미터 | 통신, 표준 입력(전류, 전압) 기반 센서 |
통합관리시스템
에칭 라인 전체 통합 관리
데이터 기반 분석 화면
에칭 라인 전체 통합 관리
보고서
에칭 공정 전체를 관리할 수 있는 통합 관리 소프트웨어입니다.
Graphic 기반의 시스템 실시간 감시 / 제어 / 분석 / 보고서 등의 기능을 제공합니다.
공정에 설치된 장치 및 시스템과 통신, MES등 상위 시스템과 I/F 제공합니다.(통신, RDBMS 등)
Client/Server 구성의 통합 관리 기능, 복수의 모니터링 시스템 구축 가능
R-DBMS 연동 기능을 내장하여 운영 데이터의 활용이 자유롭습니다
고객사에 따라 다양한 시스템 구성이 가능하며, 특성에 맞는 감시/운영 체계를 제공합니다.
기대 효과
전체 라인에 대한 실시간 통합관리가 가능하여, 항상 최적의 공정 관리가 가능하며, 공정 운영 효율을
개선합니다.
모든 라인의 이상 상태 ,약품 조성 등 공정 준비 상태에 대하여 실시간 원격 관리로 에칭 품질 및 수율을 개선합니다.
적절한 약품의 조성 유지로 약품 소비량 절감이 가능합니다.
유지관리를 위한 인력 운영의 효율 향상이 가능합니다.
고객사의 전산 시스템과 연계하여 공정에 대한 통합관리, AI 분석 등을 지원합니다.
기능 및 특징
- 에칭 공정의 시스템, 장치 통합 관리 소프트웨어로서 감시/제어/분석/보고서 기능
- 다양한 통신 Protocol 지원. MES, SI 등 고객사 전산망과 I/F 기능
- 고객사의 특성에 따라 다양한 시스템 구성 및 감시화면 제공
- 실시간으로 하부 시스템, 장치, 센서 등의 운영 상태 파악 및 경보 기능
- 실시간 / 이력 데이터 분석, 상관관계 분석 등 다양한 분석 기능 제공
- 일보, 월보, 연보 등 기본 보고서 및 사용자 정의 보고서 작성 가능 (Excel 연동)
- 약품의 사용량 분석 및 통계 처리
- 품질 관리 및 수율 개선을 위한 분석 정보 제공
- SMS 등 메시지 기능
- 원격 모니터링, 원격 기술 지원 가능
